中方给出顶格礼遇，荷兰首相回以厚礼，光刻机禁令的缺口终于打开

荷兰首相马克·吕特受邀来中国进行工作访问，得到中方顶级规格接待的礼遇。而吕特也投桃报李，回中方以厚礼，专门就光刻机问题做出两点承诺。美国主导的对华光刻机出口禁令终于被打开了缺口。

吕特在华期间明确表示了两点，一是荷兰将确保出口管制措施不会专门针对某一国家；二是将确保提供完善的售后服务，包括确保零配件供应的畅通。可以说到了现在，中国终于在美国主导推动的对华光刻机出口禁令上打开了一个重要缺口。

吕特的这番话是有针对性的。去年华为公司推出的mate60系列手机使用了我们国产的7纳米芯片工艺，美国政府认为他们的对华技术封锁措施已经失效，中国已经研发成功利用现有半导体设备制造先进半导体的工艺技术，因此近日有传闻称，美国政府打算进一步加强对华技术封锁，可能要求所有“盟友”及美国的半导体设备厂家不要对已经出售给中国的半导体设备提供维修和保养服务，这是明显违反商业合同的行为，企图以此来“掐死”中国半导体产业。吕特的这些保证可以说是给了美国政府一巴掌。

荷兰政府在一周前曾经发布一份声明，称马克吕特此次访华的目的是讨论双边和经济关系、俄乌冲突以及中东局势。吕特这次访华不但与中国领导人讨论了相关事务，还前往北京大学与超过400名中国学生进行了问答，并且前往大栅栏胡同进行了参观。陪同他访华的还有荷兰外贸与发展合作大臣杰弗里·范莱文，中国商务部长王文涛也会见了范莱文，并且在会见中再次强调，希望荷方能够秉持契约精神，确保光刻机贸易正常进行，共同维护全球半导体产业链供应链的稳定。

由此可见，光刻机是吕特这次访华的重点。正是因为美国对华光刻机禁令出现后，中国在先进芯片研发和生产方面取得突破性进展，才让荷兰不得不松口。西方国家一贯如此，当看到中国在某一尖端领域取得突破后，就会急忙放松这方面的禁令，试图在中国市场上抓紧时间分一杯羹。目前荷兰阿斯麦公司能够向中国出口的光刻机主要是浸没式深紫外线DUV光刻机系列，有不同的档次和型号。在美国的压力下，阿斯麦公司至今无法向中国出口最先进的极紫外线EUV光刻机。

在理论上，使用浸没式深紫外线DUV光刻机通过多重曝光技术，是能够制造出7纳米乃至5纳米芯片的。华为的麒麟9000S芯片就使用了7纳米技术。而最近国家知识产权局发布公告，称华为技术有限公司申请了一项名为“自对准四重图案化半导体装置的制作方法以及半导体装置“，这技术就是半导体业界讨论多年的SAQP技术，在理论上能够制造出5纳米芯片。

值得注意的是，这项专利尽管刚刚公布，但是它的申请日期是2021年9月，这说明现在这项技术很可能已经投入商业生产，中国自己的5纳米芯片就要来了。一些海外媒体也报道了此事。不过一个现实就是，要生产更先进的3纳米芯片，就必须用EUV光刻机，而荷兰阿斯麦公司是EUV光刻机在世界上唯一的供货商。

近期阿斯麦公司向荷兰政府提出，想要把总部和技术中心搬到法国去，给出的理由是荷兰的半导体人才不够多。但是业内普遍认为，阿斯麦公司实际上是认为法国是欧洲为数不多的有独立政治决策能力的国家，能够更好地顶住美国的压力，不影响阿斯麦在中国的生意。目前荷兰政府正在紧急行动起来，试图解决阿斯麦公司提出的问题，阻止其搬走。

阿斯麦公司之所以如此焦虑，是因为中国自己生产的浸没式DUV光刻机已经离商业应用不远了，他们的产品很快就要被替代了，然而EUV光刻机又不敢卖给中国。而且众所周知的是，中国也在研制自己的EUV光刻机，虽然短期内还无法商用，但从长期来看，阿斯麦公司的生意已经岌岌可危了。

美国近期还在寻求加紧对中国的芯片禁令，其扩大范围就包括吕特这次承诺的零配件供应和售后服务。所以接下来荷兰政府将如何落实自己的承诺还有待观察。不过有一个好消息是，对于进口光刻机的维护和保养工作，我们国内也有一些企业能够接手了，甚至一些消耗性的零部件，我们也能够生产了。美国政府的禁令注定不会起作用。中国半导体行业正在向着自主化的方向大跨步地发展。